Основы МЭМС: методы микро- и наноизготовления

Технология, используемая в современных датчиках, смартфонах и медицинских устройствах, основана на структурах, размер которых меньше человеческого волоса. Понимание того, как разрабатываются и производятся эти микро- и наномасштабные системы, имеет важное значение для следующего поколения аппаратной инженерии. Этот курс предоставляет всестороннее введение в основные процессы микроизготовления и наноизготовление. Вы будете переходить от понимания основных свойств кремния к пониманию сложных химических и физических шагов, используемых для построения функциональных микроэлектромеханических систем (MEMS). 1. Понять основные термины, историю и фундаментальную физику МЭМС и нанотехнологий. 2. Объяснить пошаговые процессы фотолитографии, осаждения и травления в условиях чистого помещения. 3. Анализировать механические и электрические свойства кремния и альтернативных материалов субстрата. 4. 5. Изучение современных достижений в производстве, включая литографию нанопечатей и травление с высоким соотношением сторон. 6. Оценка протоколов безопасности в чистых помещениях, контроль загрязнения и методы контроля качества. Курс начинается с основных понятий физики микромасштабов и материаловедения, а затем вы пройдете через химические и физические процессы, используемые в современных чистых помещениях. Вы изучите реальные структуры устройств MEMS, такие как акселерометры и датчики давления, чтобы увидеть, как эти этапы изготовления сочетаются на практике. Этот курс предназначен для студентов инженерных специальностей, техников и любопытных профессионалов, не знакомых с нанотехнологией, и не требует предварительного опыта работы в чистых помещениях. Начните читать сегодня, чтобы заложить прочный фундамент в мире микро- и наноинженерии.